陆芯半导体 晶圆切割机
- 速度：
- 600mm/s
- 直线度：
- 2μm全行程
- 定位精度：
- 2μm全行程
·1.8KW（2.4KW可选） 大功率直流主轴
·高刚性龙门式结构
·T轴旋转轴采用DD马达
·进口超高精密级滚柱型导轨
·进口超高精密滚珠型丝杆
·CCD双镜头自动影像系统
·友好人机交互界面
·瑞士进口滚柱导轨，精度高，耐用性久，稳定性高，超高直线度，实测0.9μm
·采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠，定位精度可达2μm全行程
·自动对焦功能，具有CSP切割功能，具有 在线刀痕检测功能
·NCS非接触测高，BBD刀破损检测，自动修磨法兰功能
·工件形状识别功能，更加友好人机界面
·自动化程序著提升
·满足各种加工工艺需求
设 备 参 数 | ||
项目 | 产品型号 | LX3352划片机 |
加工尺寸 | ≥ø305mm/280mm×280mm | |
X轴 | 最大速度 | 600mm/s |
直线度 | 2μm全行程 | |
Y轴 | 定位精度 | 2μm全行程 |
单步步尽量 | 0.1μm | |
直线度 | 2μm全行程 | |
Z轴 | 有效行程 | 40mm |
单步步尽量 | 0.1μm | |
直线度 | 2μm | |
重复定位精度 | 1μm | |
最大刀轮直径 | 59mm | |
T轴 | 转速 | 120rps/min |
分辨率 | 0.0001° | |
额定转矩 | 20N.M | |
主轴 | 转速范围 | 6000-60000rpm |
额定输出功率 | 直流1.8KW | |
基础规格 | 电源 | 220V/50Hz |
压缩空气 | 0.5-0.8Mpa 最大耗气量220L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa 最大耗水量1.5L/min | |
排风量 | 5m³/min | |
尺寸 | 1075×1160×1810mm | |
重量 | 1150KG | |
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